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专利号:200580007849
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成膜装置
本发明提供一种能够对依然装载于成型加工用的模具上的基体材料进行成膜加工的成膜装置。该装置具有一端利用底部封闭，另一端开放的筒状的框体（１ｈ）、设置于所述底部内表面的靶（１ａ）、以及贯通框体（１ｈ）的壁部形成的端口（３ｂ）。

成膜装置

一种成膜装置，其特征在于，具有　　　　一端利用底部封闭，另一端开放的筒状的框体、　　　　设置于所述底部内表面的靶、以及　　　　贯通所述框体的壁部形成的端口。
 
　　
专利号: 200580007849
申请日: 2005年3月10日
公开/公告日: 2007年3月14日
授权公告日:
申请人/专利权人: 新明和工业株式会社、株式会社大岛电机制作所
国家/省市: 日本(JP)
邮编:
发明/设计人: 米山信夫、中山孝、泷川志朗、梅泽隆男、石泽资右、高野博史
代理人: 衷诚宣
专利代理机构: 上海新天专利事务所(31213)
专利代理机构地址: 上海市复兴中路526号503室(200020)
专利类型: 发明
公开号: 1930319
公告日:
授权日: 20
公告号: 0000000
优先权: 日本2004年3月12日070524/2004
审批历史:
附图数: 6
页数: 9
权利要求项数: 1
国际公布号: WO2005/087972
国际公布日: 2005年9月22日
国际公布语言: 日
国际申请号: PCT/JP2005/004216
国际申请日: 2005年3月10日
进入国家阶段日: 2006年9月11日
PCT:
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专利分类:·生活及医学 ·作业及运输 ·化学及冶金 ·纺织及造纸 ·建筑及采矿 ·机械及工程 ·物理及测量 ·电子及通讯
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