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| 本发明公开一种靶材的制造方法，是利用粉末冶金法制造溅射靶的靶材的方法，其包括：对于每一个成型后的被烧结体，从该被烧结体的一端开始进行烧结的加热工序；该加热工序优选为，对每一个所述被烧结体，使该被烧结体同时跨过两个以上的设为不同温度的相邻区域、一边搬送一边加热的工序。根据本发明，在加热工序中，对于每一个被烧结体，升温时通过在其两端设定温度差，可以从一端开始顺序加热，从而进行烧结，即，在制造长尺寸以及大型的靶材时，也可以使烧结工序从被烧结体的一端开始顺序进行，使该烧结体的由烧结引起的收缩也顺序产生，因此，可以提高最终获得的靶材的密度，改善密度不均的同时还可以防止发生弯曲变形以及裂纹。 |
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溅射靶用靶材的制造方法
一种靶材的制造方法，是利用粉末冶金法制造溅射靶的靶材的方法，其特征在于，包括： 对于每一个成型后的被烧结体，对该被烧结体进行加热时使其两端具有温度差、且从该被烧结体的一端开始进行烧结的加热工序。
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