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| 描述了生产可旋转靶的方法和制得的靶。在圆筒形模具间形成的空腔中注入靶形成材料，其中内管通过顶部和底部封闭体共轴固定。在高的温度和压力下对该组件进行热等静压。该方法不同于现有技术之处在于，在热等静压过程中内管变形，并将靶形成材料压在基本上不变形的外模具上。 |
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通过热等静压获得的圆筒形靶
制备可旋转溅射靶的方法，包括步骤： －提供内管 －在所述内管周围安装外模具，所述外模具形成腔体，所述腔体具有旋转体的形状，所述腔体与所述内管具有相同轴，使得在所述内管和所述模具之间形成空腔 －在所述空腔内提供底部环形封闭体并将所述底部封闭体密封到所述内管和所述模具上 －用靶形成材料填充所述空腔 －提供顶部环形封闭体并将所述顶部环形封闭体密封到所述内管和所述模具上 －对所述空腔进行抽空和密封，所述内管、所述模具和所述顶部和底部封闭体形成中间具有孔的容器 －对所述容器进行热等静压处理 其特征在于，在热等静压处理过程中，所述内管变形，并将所述靶形成材料压在所述基本上不变形的外模具上。
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