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| 本发明提供一种等离子淋浴器，能够产生中和用电子，用于在离子注入工艺中，在被注入晶片上产生的静电积累进行中和，提高离子注入工艺的性能，消除静电积累对注入晶片的危害。 |
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水冷等离子淋浴器
水冷等离子淋浴器，其特征在于，包括下列部件：引出极板（１），灯丝装夹机构（２），灯丝（３），送气管路（４），灯丝引线机构（５），法兰绝缘垫（６），法兰（７），导水长管（８），水冷支架（９），两瓷绝缘柱子（１０），屏蔽罩（１１），两磁铁（１２），两磁铁安装板（１３）； 所述的水冷支架（９）底部的通孔、灯丝装夹机构（２）和引出极板（１）共同围成一个放电工作空间称为放电弧室（１４）； 所述的引出极板（１），安装在放电弧室的顶端面，正中有一圆孔，是等离子淋浴器的等离子出口； 所述的灯丝装夹机构（２），装夹有灯丝（３）、灯丝装夹的夹杆和螺母及绝缘块，用于灯丝与水冷支架（９）之间的绝缘安装； 所述的送气管路（４）连接从法兰（７）到水冷支架（９）的顶部的弧放电通孔，用于从送气系统往放电弧室（１４）内送入工作气体； 所述的灯丝引线机构（５），一端与灯丝（３）相连，另一端穿过法兰（７）与灯丝电源相连； 所述的法兰绝缘垫（６）是离子淋浴器的整体安装绝缘垫，一面与法兰（７）接触，另一面与设备安装面接触； 所述的法兰（７）用于固定水冷支架（９）和灯丝引线机构（５）以及送气管路（４）； 所述的导水长管（８）通过卡套接头与水冷支架（９）连接，将冷却水送到水冷支架（９）底部的放电弧室附近，以冷却放电弧室腔体； 所述的水冷支架（９）顶部设计有弧放电通孔，在支架的长杆内开有从外端一直到弧放电通孔附近的通水孔，用以导通冷却水，灯丝装夹机构（２），送气管路（４），灯丝引线机构（５）和法兰（７）都装配在其上； 所述的绝缘瓷柱子（１０）用来在水冷支架（９）上绝缘并固定灯丝引线机构（５）； 所述的屏蔽罩（１１）两侧安装有厚度方向磁化的永久磁铁（１２）； 所述的磁铁（１２）通过磁铁安装板（１３）安装在水冷支架（９）顶部弧放电通孔的两侧。
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