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| 一种真空涂层机（１），其中一驱动装置（６）通过一弹性中间板（１４）顺应地安装至腔壳（３），以使所述驱动装置可跟随由旋转阴极（１０）施加的摆动，旋转阴极（１８）自由端上的支撑支座（１９）可具有刚性设计。 |
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带电动机驱动的旋转阴极的真空涂层机
一种真空涂层机（１），其具有至少一个带有一腔壳（３）的处理腔（２），至少有一个被相对于腔壳（３）支撑且通过一驱动装置（６）驱动的旋转阴极（１０），以及一用于在其驱动侧端来修正旋转阴极（１０）的摆动的设备，其特征在于，旋转阴极（１０）的驱动装置（６）通过相对于腔壳（３）的顺应性悬挂设置。
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