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专利号:200610152334
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可消耗材料的厚板及物理气相沉积靶材料
本发明提供一种可消耗材料的厚板及物理气相沉积靶材料，包括至少一侦测器，用以对于该可消耗材料的厚板接近或已经减少至该可消耗材料的一既定量发出信号。本发明所述的可消耗材料的厚板及物理气相沉积靶材料，可降低物理气相沉积靶材的消耗成本，制造成本以及增加获利。

可消耗材料的厚板及物理气相沉积靶材料

一种可消耗材料的厚板，其特征在于，该可消耗材料的厚板包括：　　　　至少一侦测器，用以对于该可消耗材料的厚板接近或已经减少至该可消耗材料的一既定量发出信号。
 
　　
专利号: 200610152334
申请日: 2006年9月26日
公开/公告日: 2007年6月20日
授权公告日:
申请人/专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
国家/省市: 台湾(71)
邮编:
发明/设计人: 萧义理、黄见翎、许志成、许呈锵、汪青蓉、余振华
代理人: 刘新宇
专利代理机构: (11277)
专利代理机构地址: ()
专利类型: 发明
公开号: 1982498
公告日:
授权日: 20
公告号: 000000000
优先权: 美国2005年9月26日60/720,390美国2005年10月20日60/728,724美国2006年6月29日11/427,602
审批历史:
附图数: 22
页数: 17
权利要求项数: 2
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专利分类:·生活及医学 ·作业及运输 ·化学及冶金 ·纺织及造纸 ·建筑及采矿 ·机械及工程 ·物理及测量 ·电子及通讯
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