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| 本发明涉及一种生产管形靶的方法，该管形靶包含钼或钼合金，其含氧量低于５０μｇ／ｇ，密度大于理论密度的９９％，且平均粒径小于１００μｍ，并且该管形靶与一支承管相连接，通过挤压完成生产。 |
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管形靶
一种管形靶的生产方法，该管形靶包含一钼管或一钼合金管，其含氧量低于５０μｇ／ｇ，密度大于理论密度的９９％，在轴向方向的横向平均粒径小于１００μｍ，该管形靶还包含一由非磁性材料制成的支承管，其特征在于，本方法至少包含以下生产步骤： 由钼或钼合金生产出金属粉末，该粉末具有按费希尔之说从０．５至１０μｍ的平均粒径； 生坯以管毛坯的形式进行生产，在使用砂芯的挠性铸模中，在压力Ｐ下，对金属粉末进行冷等压挤压，其中，压力为１００ＭＰａ＜ｐ＜５００Ｍｐａ； 在温度Ｔ下的还原空气或真空中，通过烧结生压制坯进行管毛坯的生产，其中，温度为１６００℃＜Ｔ＜２５００℃； 通过将管毛坯加热到成型温度Ｔ，并对心轴挤压进行靶管的生产，其中，温度为ＤＢＴＴ＜Ｔ＜（ＴＳ－８００℃）； 靶管与支承管进行连接； 机械加工。
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