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| 本发明公开了一种无极汞灯的射频激励装置，它包括高频振荡器、高频放大器、功率放大器、耦合匹配器，高频振荡器的输出端与高频放大器的输入端连接，高频放大器的输出端与功率放大器的输入端连接，功率放大器的输出端与耦合匹配器的输入端连接。本发明结构合理，调节时方便灵活，射频激励源的输出频率高，功率大，并在一定范围内可调，稳定性高。 |
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无极汞灯的射频激励装置
一种无极汞灯的射频激励装置，它包括高频振荡器（１）、高频放大器（２），其特征在于：高频振荡器（１）的输出端与高频放大器（２）的输入端连接，高频放大器（２）的输出端与功率放大器（３）的输入端连接，功率放大器（３）的输出端与耦合匹配器（４）的输入端连接； 所述的高频放大器（２）包括高频晶体三级管Ｔ、电容（Ｃ↓［３］、Ｃ↓［６］、Ｃ↓［８］、Ｃ↓［９］）、可变电容（Ｃ↓［２］、Ｃ↓［４］、Ｃ↓［５］、Ｃ↓［７］）、电感（Ｌ↓［２］、Ｌ↓［３］、Ｌ↓［４］、Ｌ↓［５］）； 所述的耦合匹配器（４）包括电容（Ｃ↓［１１］、Ｃ↓［１２］、Ｃ↓［１３］）、电感（Ｌ↓［６］）。
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