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发明名称　全文　

专利号:200710085240

　　[主　附　图]

　　[公开说明书]

　　[授权说明书]

抛光表面

本发明提供一种抛光装置。该抛光装置包括：可旋转压盘；驱动机构，用于以线性方向逐渐推进具有抛光表面的抛光片通过所述压盘；在所述压盘上的子垫，用于支撑所述抛光片，所述子垫具有形成于其中的凹槽；以及真空源，其与所述子垫的凹槽相连接并且配置用于提供足以将部分所述抛光片拉入所述子垫的凹槽中的真空，以在所述抛光表面形成凹槽。

抛光表面

一种抛光物，包括：　　　　具有线性透明部分的线性抛光片，其中所述线性透明部分由在约２．５英寸的半径范围分布而不会破裂的弹性材料形成。

专利号:	200710085240
申请日:	2007年2月15日
公开/公告日:	2007年10月24日
授权公告日:
申请人/专利权人:	应用材料股份有限公司
国家/省市:	美国(US)
邮编:
发明/设计人:	本杰明·A·邦纳、彼得·麦克雷诺、格雷戈里·E·门克、格沛拉克里西那·B·普拉布、阿南德·N·莱尔、加伦·C·勒温、史蒂文·M·苏尼加、埃里克·S·朗登、亨利·H·奥
代理人:	徐金国梁挥
专利代理机构:	机械工业部知识产权事务中心(11006)
专利代理机构地址:	北京市阜城门外百万庄南里1号(100037)
专利类型:	发明
公开号:	101058169
公告日:
授权日:	20
公告号:	000000000
优先权:	美国2006年2月15日60/773,950
审批历史:
附图数:	15
页数:	17
权利要求项数:	8
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专利分类:·生活及医学 ·作业及运输 ·化学及冶金 ·纺织及造纸 ·建筑及采矿 ·机械及工程 ·物理及测量 ·电子及通讯

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