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半导体薄膜、薄膜晶体管、其制造方法以及半导体薄膜的制造装置 |
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| 本发明的目的是获得具有排列成格子状、间隔大致相等、并且结晶粒径小的晶粒的半导体薄膜、薄膜晶体管、半导体薄膜和薄膜晶体管的制造方法及半导体薄膜的制造装置。本发明的半导体薄膜是通过在非晶半导体薄膜上照射激光（１２）多晶化而成。此外，本发明的半导体薄膜中，晶粒（６）排列成格子状。另外，晶粒（６）的大小为激光（１２）的振荡波长的大致一半。 |
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半导体薄膜、薄膜晶体管、其制造方法以及半导体薄膜的制造装置
一种半导体薄膜，是一种通过在非晶半导体薄膜上照射激光而多晶化的半导体薄膜， 其晶粒排列成格子状， 上述晶粒的大小约为上述激光的振荡波长的一半。
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