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| 本实用新型公开了一种双永磁磁悬浮定位装置，它包括底板和被悬浮平台，底板上设有若干电磁线圈，每个电磁线圈均带有永磁体。被悬浮平台位于底板上方，在被悬浮平台下表面设有若干永磁体。被悬浮平台上永磁体的磁化方向与底板上永磁体的磁化方向相反，两者形成将被悬浮平台悬浮起来的排斥力。所述电磁线圈按阵列方式均匀布置在底板上，被悬浮平台上的永磁体分成若干相同的组、每组以阵列方式均匀布置于被悬浮平台下表面。本磁悬浮定位装置具有无接触、无润滑、无磨损、运行费用和维修费用低，工作寿命长等优点，适合于微电子封装及光刻设备等需要真空、超洁净环境的需求。 |
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双永磁磁悬浮定位装置
双永磁磁悬浮定位装置，其特征在于：它包括底板（３）和被悬浮平台（６），底板（３）上设有若干电磁线圈（５），每一个电磁线圈（５）内均设有永磁体（４），被悬浮平台（６）位于底板（３）上方，在被悬浮平台（６）下表面设有若干永磁体（７）；被悬浮平台上永磁体（７）的磁化方向与底板上永磁体（４）的磁化方向相反，两者形成将被悬浮平台悬浮起来的排斥力。
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