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专利号:200810000046
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溅射用靶装置

本发明涉及一种相对大面积对象物的行进方向而配置在宽度方向上的溅射用靶装置,该溅射用靶装置包括:背板,含有中央表面以及在中央表面的两侧以降低规定的级差而形成的至少一个台阶表面;基准靶材,安装在背板的中央表面上;和加强靶材,安装在背板的台阶表面上。

溅射用靶装置

一种溅射用靶装置,相对大面积对象物的行进方向而配置在宽度方向上,其特征在于,包括:    背板,含有中央表面以及在所述中央表面的两侧以降低规定的级差而形成的至少一个台阶表面;    基准靶材,安装在所述背板的中央表面上;和    加强靶材,安装在所述背板的台阶表面上。
 


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专利号: 200810000046
申请日: 2008年1月4日
公开/公告日: 2008年7月16日
授权公告日:
申请人/专利权人: 三星康宁株式会社
国家/省市: 韩国(KR)
邮编:
发明/设计人: 尹汉镐、赵祐奭、金眩秀、金仁燮、崔成龙、崔智雄、朴喆基、朴炯律
代理人: 陆弋 朱登河
专利代理机构: 信息产业部专利服务中心(11018)
专利代理机构地址: 北京市海淀区学院路40号(100083)
专利类型: 发明
公开号: 101220460
公告日:
授权日:
公告号: 000000000
优先权: 韩国2007年1月5日10-2007-0001464
审批历史:
附图数: 4
页数: 8
权利要求项数: 2
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