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| 本发明涉及一种相对大面积对象物的行进方向而配置在宽度方向上的溅射用靶装置，该溅射用靶装置包括：背板，含有中央表面以及在中央表面的两侧以降低规定的级差而形成的至少一个台阶表面；基准靶材，安装在背板的中央表面上；和加强靶材，安装在背板的台阶表面上。 |
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溅射用靶装置
一种溅射用靶装置，相对大面积对象物的行进方向而配置在宽度方向上，其特征在于，包括： 背板，含有中央表面以及在所述中央表面的两侧以降低规定的级差而形成的至少一个台阶表面； 基准靶材，安装在所述背板的中央表面上；和 加强靶材，安装在所述背板的台阶表面上。
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