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专利号:200810064171
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光电探测系统的带非晶金刚石膜的玻璃球罩及其制备方法

光电探测系统的带非晶金刚石膜的玻璃球罩及其制备方法,它属于硬质表面的玻璃球罩及制备方法。它为克服OEPS-27光电探测系统外部的玻璃球罩硬度低、抗划擦性和耐腐蚀性较差、表面易损伤以及现有涂敷非晶金刚石薄膜的方法不能在球罩玻璃上牢固地涂敷非晶金刚石薄膜的缺点而提出。它由球罩玻璃基底、硅膜中间层和非晶金刚石膜层组成;硅膜中间层镀在球罩玻璃基底的外表面,非晶金刚石膜层镀在硅膜中间层的外表面。其制备步骤如下:一清洗球罩玻璃基底,二电离反溅,三沉积硅膜中间层,四离子刻蚀,五在硅膜中间层上沉积非晶金刚石膜层。本发明有益效果在于使玻璃球罩具有硬度高、抗划擦和耐腐蚀性好、在光学工作波段具有良好的透过率。

光电探测系统的带非晶金刚石膜的玻璃球罩及其制备方法

光电探测系统的带非晶金刚石膜的玻璃球罩,其特征在于它包括球罩玻璃基底(1),硅膜中间层(2)和非晶金刚石膜层(3);硅膜中间层(2)镀制在球罩玻璃基底(1)的外表面上,非晶金刚石膜层(3)镀制在硅膜中间层(2)的外表面上。
 


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专利号: 200810064171
申请日: 2008年3月25日
公开/公告日: 2008年8月20日
授权公告日:
申请人/专利权人: 哈尔滨工业大学
国家/省市: 哈尔滨(93)
邮编: 150001
发明/设计人: 朱嘉琦、韩潇、韩杰才
代理人: 徐爱萍
专利代理机构: 黑龙江省松花江专利事务所(23109)
专利代理机构地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街26号四楼(150001)
专利类型: 发明
公开号: 101244897
公告日:
授权日:
公告号: 000000000
优先权:
审批历史:
附图数: 2
页数: 5
权利要求项数: 2
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