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| 本发明提供一种基板载置台以及基板处理装置，其能够在载置基板时防止划伤基板的背面，该基板载置台包括：基材（１１０）；形成在所述基材上的、用于载置基板（Ｇ）的介电性材料层（１２０）；以及在介电性材料层上形成的多个凸部（１４２），其中，作为所述各凸部（１４２）与基板（Ｇ）的接触部分的上部（１４４）由硬度比基板（Ｇ）的硬度低的材料构成。 |
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基板载置台以及基板处理装置
一种基板载置台，用于载置由基板处理装置进行处理的基板，该基板载置台的特征在于，包括： 基材； 在所述基材上形成的、用于载置所述基板的介电性材料层；以及 在所述介电性材料层上形成的多个凸部，其中， 所述各凸部的至少与所述基板接触的接触部分由硬度比所述基板的硬度低的材料构成。
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