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| 一种从粉末材料制造溅射靶的方法，包括步骤：提供至少一种原料粉末材料；使所述至少一种原料粉末材料形成密度大于理论最大密度之大约４０％的生坯；用微波处理所述生坯以形成密度大于理论最大密度之大约９７％的烧结体；以及，从该烧结体形成溅射靶。该方法特别地适用于包括电介质和金属陶瓷材料的靶的制造中。 |
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通过微波烧结制备高密度陶瓷和金属陶瓷溅射靶
一种从粉末材料制造溅射靶的方法，其包括步骤： （ａ）提供至少一种原料粉末材料； （ｂ）使所述至少一种原料粉末材料形成具有大于理论最大密度的大约４０％的密度的生坯； （ｃ）用微波处理所述生坯，以形成密度大于理论最大密度大约９７％的烧结体；和 （ｄ）从所述烧结体形成溅射靶。
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