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专利号:200810099401
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制备宽频带吸波磁性多层膜的方法

本发明涉及一种在基底材料上制备出宽频段吸波层的方法。本发明制备宽频带吸波磁性膜的方法是:首先在基底材料上采用真空溅射法生成截止频率为f↓[1]的第一磁性材料层,再在第一磁性材料层上生成第一隔离层,如此重复前述过程,最终在基底上形成由隔离层相隔的由不同截止频率的磁性材料层构成的n层磁性材料薄膜,其中的隔离层可用通常的物理成膜技术生成。

制备宽频带吸波磁性多层膜的方法

制备宽频带吸波磁性膜的方法,其特征是:首先在基底材料上采用真空溅射法生成截止频率为f↓[1]的第一磁性材料层,再在第一磁性材料层上生成一层由非磁性材料构成的隔离层,然后再隔离层上溅射生成截止频率为f↓[2]的第二磁性材料层,再在第二磁性材料层上生成由非磁性金属材料构成的第二隔离层,如此重复前述过程,在基底上形成由非磁性金属材料构成的隔离层相隔的由不同截止频率的磁性材料层构成的n层磁性材料薄膜,其中的非磁性金属材料隔离层为30~50纳米。
 


  
专利号: 200810099401
申请日: 2008年5月8日
公开/公告日: 2008年10月15日
授权公告日:
申请人/专利权人: 兰州大学
国家/省市: 甘肃(62)
邮编: 730000
发明/设计人: 薛德胜、范小龙、李发伸
代理人: 张晋
专利代理机构: 甘肃省机械工业专利事务所(62102)
专利代理机构地址: 甘肃省兰州市金昌路128号(730030)
专利类型: 发明
公开号: 101285170
公告日:
授权日:
公告号: 000000000
优先权:
审批历史:
附图数: 4
页数: 6
权利要求项数: 1
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