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| 一种二氧化钛纳米管复合电极的室温制备方法，涉及电极材料和半导体薄膜制备工艺。其制备的方法：首先采用磁控溅射的方法在基片上沉积纯钛薄膜，溅射参数：溅射功率１０５－１５０Ｗ，工作压强０．１－０．５Ｐａ，基片不加热，溅射时间为０．５－２ｈ；然后在室温条件下阳极氧化钛膜得到规整排列的ＴｉＯ↓［２］纳米管阵列，阳极氧化参数为：钛膜试样为阳极，铂片作为阴极，两极间的距离为１０－５０ｃｍ，电解液中物质质量比为Ｈ↓［３］ＰＯ↓［４］∶ＨＦ∶Ｈ↓［２］Ｏ＝１０∶０．５－１∶１００，恒定电压为１０－２０Ｖ；该电极可广泛应用于透明光学器件（如染料敏化太阳能电池，电致变色器件等）及气体传感器，也适合于微型化器件的组装和柔性电极的制备。 |
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二氧化钛纳米管复合电极的室温制备方法
一种二氧化钛纳米管复合电极的室温制备方法，其特征在于包括以下步骤： ①基片上高密度纯钛薄膜的室温制备： 先超声清洗基片，溅射真空度达到要求后，在溅射功率１０５－１５０Ｗ，氩气压强０．１－０．５Ｐａ，基片不加热，溅射时间为０．５－２ｈ的参数下沉积钛薄膜； ②ＴｉＯ↓［２］纳米管复合电极的室温制备： 将溅射后的试样嵌套在金属夹具上作为阳极，后将整个试样完全浸入到电解液中室温下进行阳极氧化；其中铂片作为阴极，两极间的距离为１０－５０ｃｍ，电解液中物质质量比为Ｈ↓［３］ＰＯ↓［４］∶ＨＦ∶Ｈ↓［２］Ｏ＝１０∶０．５－１∶１００，恒定电压为１０－２０Ｖ，反应时间为３０－６０ｍｉｎ。
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